萬級凈化車間標(biāo)準(zhǔn)包括

1.塵粒允許數(shù)（每立方米）；

2.大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得超過350000個，大或等于5

微米的粒子數(shù)不得超過2000個；

3.微生物允許數(shù)；

4.浮游菌數(shù)不得超過100個每立方米；

5.沉隆菌數(shù)不得超過3個每培養(yǎng)皿。

壓差：相同潔凈度等級的凈化車間壓差保持一致，對于不同潔凈等級的相鄰凈化車間之間壓差要≥5Pa，凈化車間與非凈化車間之間要≥10Pa。

萬級凈化車間對溫度、濕度無特殊要求時，以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜，溫度一般控制在冬季20~22℃；夏24~26℃；波動±2℃。冬季凈化車間濕度控制在30－50％，夏季凈化車間濕度控制在50－70％。

配電：凈化車間（區(qū)）的主要生產(chǎn)用房一般照度值宜≥300Lx；輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。

光學(xué)微電子凈化工程一般包括：

1、潔凈生產(chǎn)區(qū)

2、潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）

3、管理區(qū)（包括辦公、值班、管理和休息等）

4、設(shè)備區(qū)（包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房）

光學(xué)微電子凈化工程凈化原理

氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆?！仫L(fēng)百葉窗→初效凈化重復(fù)以上過程，即可達(dá)到凈化目的。

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