電子無(wú)塵車(chē)間靜電的控制可分為兩類(lèi)：高濕度實(shí)際上減少了無(wú)塵車(chē)間和潔凈室表面靜電的積累，是理想的效果。較低的濕度更適合電荷積聚和潛在的破壞性靜電釋放源。

　　當(dāng)相對(duì)濕度超過(guò)50%時(shí)，靜電荷開(kāi)始迅速消散，但當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí)，靜電荷可以在絕緣體或不接地表面上存在。

　　相對(duì)濕度在35%到40%之間可以作為一個(gè)令人滿(mǎn)意的折衷方案。電子無(wú)塵車(chē)間和潔凈室一般采用附加的控制裝置來(lái)限制靜電的積聚。隨著相對(duì)濕度的增加，包括腐蝕過(guò)程在內(nèi)的許多化學(xué)反應(yīng)的速率都會(huì)增加。電子無(wú)塵車(chē)間和潔凈室周?chē)┞对诳諝庵械乃斜砻娑佳杆俑采w至少一層水。當(dāng)這些表面由能與水反應(yīng)的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度會(huì)加速反應(yīng)。幸運(yùn)的是，一些金屬，如鋁，可以與水形成保護(hù)性氧化層，防止進(jìn)一步氧化；但另一種情況，如氧化銅，不具有保護(hù)性，因此銅表面在高濕度環(huán)境中更容易受到腐蝕。

　　電子無(wú)塵車(chē)間的溫濕度控制主要是由于其生產(chǎn)工藝的要求：

　　在電子工業(yè)中，制造車(chē)間是產(chǎn)生靜電的重要場(chǎng)所。通常情況下，靜電會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品短路，甚至導(dǎo)致工作人員導(dǎo)電暈厥事故。因此，電子工業(yè)無(wú)塵車(chē)間的相對(duì)濕度不應(yīng)小于30%，可以減少靜電的產(chǎn)生。一般建議無(wú)塵車(chē)間防靜電區(qū)域的相對(duì)濕度不低于50%。干燥空氣過(guò)多容易揚(yáng)塵。電子廠無(wú)塵車(chē)間無(wú)特殊要求，溫度控制在22℃左右，相對(duì)濕度控制在55%-60%相對(duì)濕度。在這種環(huán)境中，人們感到舒適，靜電消失了。